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潔淨室換氣次數與截麵風速

2026-04-09

換氣次數與截麵風速
換氣次數=房間總送風量/房間體積(次/h)
截麵風速一通過工作區高度截麵的房間總風量/(3600X工作區高度截麵積)
(m/s)
各行業會有自己的換氣次數和截麵風速的要求,設計時需參考各行業的有關規範或者根據具體條件進行計算。
表5-6是ISO14644一4主要針對微電子工業潔淨室給出,被我國GB 50073一2001《潔淨廠房設計規範》等同采用的換氣次數與截麵風速數值,當沒有具體標準時可以參考,其中風速更應參照第四章介紹的下限風速

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