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潔淨室淋水式處理

2026-01-29

潔淨室淋水式處理
淋水式是一種傳統的經典方法,利用水洗方法將可溶於水的廢氣及粉塵水洗清除。部件有噴嘴、水泵、加堿設備及pH值分析器、進出口壓力敏感元件、流量敏感元件、控製監視裝置等。圖9-46是某半導體工業常用的區域性洗滌塔。表9-19是區域性洗滌塔的優缺點比較。

 

 最大不平整度:1/300板麵長度。
表麵電阻值:10-5~10-70。
1矽片傳輸。受投資所限,采用手動係統,在微環境下手工傳送、打開片盒和裝取矽片。
5微環境裝置形式。在吊頂安裝型或地板固定型或兩者混合型中選用,見圖9-44和圖9-45。

 

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